Vår løsning: GABA

Halvlederindustrien bruker gasser som er giftige, antennbare og til og med skadelige, ikke bare for miljøet, men også for mennesker. Ulike gasser krever ulike behandlingsteknologier, som termisk, våt eller en kombinasjon av disse teknologiene. Eksosgassene fra prosessen kan så slippes ut i atmosfæren. Uten å skade naturen. For en grønnere verden.

Flammeløs katalytisk
Dette katalysatorsystemet kombinerer flammeløs katalytisk varmeoksydering og våtbehandlingsteknologi for å redusere antennbare, vannløselige gasser og NF₃. Pulver og vannløselige gasser som kan bli generert under varmeoksydering, vil bli fanget i en oppstrøms vætingssone i flere trinn.

Termisk våt
Elektrisk varme- og våtbehandlingsteknologi kombineres i ett system for å minske hydridbaserte gasser som NH₃, SiH₄ og også NF₃. I brennkammeret endres kjemien i antennbare og pyrofore prosessgasser via termisk oksidering. Vannløselige gasser løses deretter opp i vætingskammeret oppstrøms.

Våtavskiller
Eksosgasstrømmen, spesielt fra epitaksiprosesser, sprayes med vann i fire individuelle reaksjonskamre. Faste biprodukter fanges i vanndråper og løses opp. Deretter separerer en absorber vannet fra utløpsgasstrømmen.